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光电测试

  FPA组件传递函数成像测量系统

  

  本设备主要用于测试红外整机最小可分辨温差(MRTD)、最小可探测温差(MDTD)、噪声等效温差(NETD)、传递函数(MTF)、视场、光轴一致性、空间分辨率、畸变等指标。

  主要指标及参数

指标

参数

波段

0.4μm ~ 14μm

平行光管焦距

2998mm

平行光管口径

300mm

黑体温度精度

±0.01℃

转台精度

±20”

转台范围

360°×60°

NETD测试范围

10mK以上

MRTD靶标范围

空间频率0.163C/mrad ~ 14.994C/mrad

MDTD靶标范围

空间频率0.164/mrad ~ 14.994/mrad

MTF精度

±0.03MTF点

支持视频格式

模拟标准PAL、NTSC制;

数字Camlink输出;

LCD、监视器输出

  地址:北京市朝阳区酒仙桥路4号   电话:010-64303480  010-84321451

  PTI弱吸收测量仪

  

  本设备主要用于晶体材料内部杂质吸收和膜层缺陷弱吸收。

  主要指标及参数

指标

参数

测量范围

透射膜层、透明晶体、透明陶瓷、透明玻璃等

波长范围

1064nm

测量精度

±0.1nm

  地址:北京市朝阳区酒仙桥路4号   电话:010-64303480  010-84321

  波长干涉仪

  

  本设备主要用于测量能够透过1064nm光和633nm光的晶体波前畸变,例如:Ho:Cr:Tm:YAG、Er:YAG等。

  主要指标及参数

指标

参数

测试波长范围

633nm、1064nm

测试尺寸范围

Ø3mm ~ Ø10mm×20mm ~ 150mm @1064nm

Ø3mm ~ Ø10mm×250mm @633nm

测量精度

λ/12@1064nm

λ/20@633nm

  地址:北京市朝阳区酒仙桥路4号   电话:010-64303480  010-84321451

  测焦仪

  

  本设备主要用于正值或负值有效焦距的测量;调制传递函数的测量;后截距的测量;曲率半径的测量;角度的测量等。

  主要指标及参数

指标

参数

焦距测量精度

0.1%~0.3%

轴上传递函数

波长范围:400nm~1000nm

小孔精度:2%

后截距测量精度

0.05%~0.3%

角度

测量精度:1”

重复性:0.2”

  地址:北京市朝阳区酒仙桥路4号   电话:010-64303480  010-84321451

  超级球径仪

  

  本设备主要用于各类光学镜头曲率半径的检验工作。

  主要指标及参数

指标

参数

测量范围

凸面:+3mm ~ +∞

凹面:-6mm ~ -∞

测量口径

6~150mm(可扩展至300mm)

测量精度

线性编码器分辨率为0.1μm,绝对精度为±0.2μm,所测得的曲率半径精度为0.01%。

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  单程损耗测试系统

  

  本设备主要用于测量晶体材料在1064nm波长激光单次通过后造成的光能量损耗。

  主要指标及参数

指标

参数

测试波长范围

1064nm

测试尺寸范围

Ø4mm ~ Ø20mm×250mm

测量误差

≤±10%

  地址:北京市朝阳区酒仙桥路4号   电话:010-64303480  010-84321451

  PGI Optics 300 非球面轮廓仪

  

  本设备主要用于平面、球面、非球面光学元件研磨及抛光阶段的面形测量及球面光学元件的曲率半径测量。可通过测量被加工件的面型误差,自动生成加工指令,反馈加工设备进行修补加工,以改善被加工件质量品质。

  主要指标及参数

指标

参数

最大测量直径

260mm

最大测量高度

45mm

测量面型精度

0.3um (采用60mm测针对传感器全量程标定)

面型重复精度

0.1μm

传动箱直线精度

≤110nm/260mm

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  分光光度计

  

  本设备主要用于样品0-60度透过率的测量,样品6-68度反射率的测量,样品漫反射测量,偏振光p和s光的透过和反射测量。

  主要指标及参数

指标

参数

波长范围

185nm ~ 3300nm

尺寸范围

Ø3mm ~ Ø20mm @透过率

Ø5mm ~ Ø20mm @反射率

测量精度

±0.1nm

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  傅里叶红外光谱仪

  

  本设备主要用于红外材料和膜层的中、远红外光谱测量。

  主要指标及参数

指标

参数

测量范围

红外材料、红外膜层

波长范围

7800cm-1 ~ 350cm-1

波数精度

优于0.01cm-1

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  高精度测角仪

  

  本设备主要用于测量具有一定反光率的平面固体的几何角度,例如:晶体棱镜,金属多面体等。

  主要指标及参数

指标

参数

测量范围

直径≥Ø3mm

测量精度

≤0.3”

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  光束分析仪

  

  本设备主要用于检测光学系统光束截面的相对功率空域分布、光束直径、横模模式、束散角等,也可用于进行光学系统光轴一致性的调整;调整光学系统的光学指标。

  主要指标及参数

指标

参数

波长范围

190nm~1800nm

分辨率

最高0.1μm

光束口径

最小2μm

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  红外光学传递函数(MTF)测试仪

  

  本设备可测试红外光学物镜系统、望远系统的光学传递函数(MTF)、焦距、透过率、畸变等指标。

  主要指标及参数

指标

参数

波段

1μm ~ 2.3μm

3μm ~ 5μm

8μm ~ 12μm

平行光管焦距

2500mm

平行光管口径

300mm

可测镜头规格

F数:0.7 ~ 4

焦距:10mm ~ 1200mm

镜头入瞳直径:0mm ~ 300mm

轴向长度:0mm ~ 1000mm

重量:<20Kg

成像分辨率

0lp/mm ~ 300lp/mm @1μm ~ 2.3μm

0lp/mm ~ 300lp/mm @3μm ~ 5μm

0lp/mm ~ 100lp/mm @8μm ~ 12μm

MTF精度

±0.03MTF点

焦距精度

±1%

透过率

±5%

畸变

±1%

  地址:北京市朝阳区酒仙桥路4号   电话:010-64303480  010-84321451

  红外整机测试设备

  

  本设备可测试-50ºC到+65ºC环境下的红外整机MRTD(最小可分辨温差)、MDTD(最小可探测温差)、NETD(噪声等效温差)、MTF(传递函数)、SiTF(信号传递函数)、固定图案噪声、空间分辨率等指标。

  主要指标及参数

指标

参数

波段

0.4μm ~ 14μm

平行光管焦距

1500mm

平行光管口径

250mm

黑体温度精度

±0.01℃

NETD测试范围

10mK以上

MRTD靶标范围

空间频率0.28C/mrad ~ 10C/mrad

MDTD靶标范围

空间频率1/mrad ~ 20/mrad

MTF精度

±0.03MTF点

支持视频格式

模拟标准PAL

  地址:北京市朝阳区酒仙桥路4号   电话:010-64303480  010-84321451

  红外中心偏测量仪

  

  本设备主要用于光学组件中心偏差的测量;共轴光学系统的装调;初步验证共轴光学系统的光轴一致性;复杂光学系统中不同镜片的中心偏差测量;晶体表面平整度测量。

  主要指标及参数

指标

参数

光源

可见光:LED

中波红外:3.39μm氦氖激光

长波红外:10.3μm~10.8μm CO2激光

测量范围

EFL/R:±2mm~2000mm

定心精度

可见光:0.2μm

红外波段:1μm

重复精度

±0.1μm

  地址:北京市朝阳区酒仙桥路4号   电话:010-64303480  010-84321451

  Zygo Verifier 6”干涉仪

  

  本设备主要用于精确测量光学零件表面的面型精度、平行度。

  主要指标及参数

指标

参数

有效测量口径

6”

测量精度

PV值示值误差为±0.008wave

测试重复性

<5%

  地址:北京市朝阳区酒仙桥路4号   电话:010-64303480  010-84321451

  镜面定位仪

  

  本设备主要用于可见光、紫外光学元件中心厚度和光学镜头及光学系统空气间隔的检测;可测量单个球面透镜、非球面透镜、柱面镜、双胶合透镜、三胶合透镜及平面镜等光学元件的中心厚度;可检测光学系统折转光路的装调质量。

  主要指标及参数

指标

参数

检测最大光学厚度

800mm

测量精度

0.15μm

装卡尺寸

最大200mm

  地址:北京市朝阳区酒仙桥路4号   电话:010-64303480  010-84321451

  双路中心偏检测仪

  

  本设备主要用于测量镜片数量较多的光学系统、测量不透可见光的镜片中心偏差以及装配红外光学镜头,也可用于调整单片镜片中心偏差、晶体表面平整度测量等。

  主要指标及参数

指标

参数

工作波段

可见光波段与激光波段,波长为380Hz-750Hz。

测量口径

最大500mm

测量精度

±0.2μm / ±2”

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  消光比测试系统

  

  本设备主要用于测量能够透过1064nm光和633nm光的晶体的消光比,例如:Ho:Cr:Tm:YAG、Er:YAG等。

  主要指标及参数

指标

参数

测试波长范围

633nm、1064nm

测试尺寸范围

Ø3mm ~ Ø10mm×250mm

测量误差

≤±5%

  地址:北京市朝阳区酒仙桥路4号   电话:010-64303480  010-84321451

  原子力显微镜

  

  本设备主要用于超光滑光学表面加工粗糙度监控和膜层表面粗糙度监控。

  主要指标及参数

指标

参数

测量范围

最大50μm×50μm

测量精度

分辨度优于0.1nm

  地址:北京市朝阳区酒仙桥路4号   电话:010-64303480  010-84321451

  

FPA组件传递函数成像测量系统

  

  

  

  本设备主要用于测试红外整机最小可分辨温差(MRTD)、最小可探测温差(MDTD)、噪声等效温差(NETD)、传递函数(MTF)、视场、光轴一致性、空间分辨率、畸变等指标。

  主要指标及参数

指标

参数

波段

0.4μm ~ 14μm

平行光管焦距

2998mm

平行光管口径

300mm

黑体温度精度

±0.01℃

转台精度

±20”

转台范围

360°×60°

NETD测试范围

10mK以上

MRTD靶标范围

空间频率0.163C/mrad ~ 14.994C/mrad

MDTD靶标范围

空间频率0.164/mrad ~ 14.994/mrad

MTF精度

±0.03MTF点

支持视频格式

模拟标准PAL、NTSC制;

数字Camlink输出;

LCD、监视器输出

  地址:北京市朝阳区酒仙桥路4号   电话:010-64303480  010-84321451

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