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离子注入机闪耀珠海航展
来源:新闻中心
发布时间:2021年09月26日 编辑:新闻中心

  离子注入机是芯片制造中的核心关键装备。中国电科连续突破大流强长寿命高品质离子源、高速晶圆传输等核心关键技术,自主研制中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机,工艺段覆盖至28nm,累计形成核心发明专利413项,实现我国芯片制造领域全谱系离子注入机自主创新发展,有效缓解我国芯片制造领域断链、短链难题。

  截止到目前,中国电科已成功实现离子注入机全谱系产品国产化,可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。下一步,将瞄准高端,紧跟先进工艺发展,加快推进适用于更先进工艺节点离子注入机的研发及产业化。

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